LA-ICP-MS標準試料

LA-ICP-MS(レーザー誘導結合プラズマ質量分析法)は測定対象試料に直接レーザーを照射し、試料表面を削り、微粉末(エアロゾル)の状態でICP-MSに導入する測定手法です。従来の溶液法と比べるとサンプルの前処理が不要で、溶解が困難なサンプルに対しても、迅速かつ簡便な測定が可能です。
今回、LA-ICP-MSでの元素分析に不可欠な標準試料として、各種元素 (18種、濃度10、50、100ppm)を均一に添加した試料各1枚ずつを封入した標準試料セットを発売開始しました。

標準試料含有元素

  • :含有元素
H He
Li Be B C N O F Ne
Na Mg Al Si P S Cl Ar
K Ca Sc Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se Br Kr
Rb Sr Y Zr Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb Te I Xe
Cs Ba Hf Ta W Re Os Ir Pt Au Hg Tl Pb Bi Po At Rn
Fr Ra
La Ce Pr Nd Pm Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu
Ac Th Pa U

Solid scale™ 製品仕様

項目 仕様
基板種類 Siウエハ
基板サイズ 約1cm × 1cm
試料膜厚 500nm
元素種
(18元素)
Ag、Al、Ba、Ca、Cd、Cu、Cr、Fe、Mg、Mn、Mo、Na、Ni、Pb、Sn、Ti、V、Zn
濃度 10、50、100ppm(各1枚)
製品規格 外観、実用試験

標準試料の外観

各元素の直線性と相関係数

代表的な6元素の処方値とLA-ICP-MS信号の直線性

表.各元素の相関係数(r

元素 r 元素 r
23Na 0.9994 60Ni 0.9996
25Mg 0.9995 65Cu 0.9995
27Al 0.9996 66Zn 0.9992
43Ca 0.9975 95Mo 0.9998
48Ti 0.9997 107Ag 0.9999
51V 0.9995 111Cd 0.9991
53Cr 0.9995 118Sn 0.9998
55Mn 0.9996 136Ba 0.9997
57Fe 0.9998 208Pb 0.9995

製品一覧

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