LA-ICP-MS標準試料
LA-ICP-MS(レーザー誘導結合プラズマ質量分析法)は測定対象試料に直接レーザーを照射し、試料表面を削り、微粉末(エアロゾル)の状態でICP-MSに導入する測定手法です。従来の溶液法と比べるとサンプルの前処理が不要で、溶解が困難なサンプルに対しても、迅速かつ簡便な測定が可能です。
今回、LA-ICP-MSでの元素分析に不可欠な標準試料として、各種元素 (18種、濃度10、50、100ppm)を均一に添加した試料各1枚ずつを封入した標準試料セットを発売開始しました。
標準試料含有元素
- :含有元素
H | He | ||||||||||||||||
Li | Be | B | C | N | O | F | Ne | ||||||||||
Na | Mg | Al | Si | P | S | Cl | Ar | ||||||||||
K | Ca | Sc | Ti | V | Cr | Mn | Fe | Co | Ni | Cu | Zn | Ga | Ge | As | Se | Br | Kr |
Rb | Sr | Y | Zr | Nb | Mo | Tc | Ru | Rh | Pd | Ag | Cd | In | Sn | Sb | Te | I | Xe |
Cs | Ba | Hf | Ta | W | Re | Os | Ir | Pt | Au | Hg | Tl | Pb | Bi | Po | At | Rn | |
Fr | Ra | ||||||||||||||||
La | Ce | Pr | Nd | Pm | Sm | Eu | Gd | Tb | Dy | Ho | Er | Tm | Yb | Lu | |||
Ac | Th | Pa | U |
Solid scale™ 製品仕様
項目 | 仕様 |
---|---|
基板種類 | Siウエハ |
基板サイズ | 約1cm × 1cm |
試料膜厚 | 500nm |
元素種 (18元素) |
Ag、Al、Ba、Ca、Cd、Cu、Cr、Fe、Mg、Mn、Mo、Na、Ni、Pb、Sn、Ti、V、Zn |
濃度 | 10、50、100ppm(各1枚) |
製品規格 | 外観、実用試験 |
標準試料の外観
各元素の直線性と相関係数
代表的な6元素の処方値とLA-ICP-MS信号の直線性
表.各元素の相関係数(r)
元素 | r | 元素 | r |
---|---|---|---|
23Na | 0.9994 | 60Ni | 0.9996 |
25Mg | 0.9995 | 65Cu | 0.9995 |
27Al | 0.9996 | 66Zn | 0.9992 |
43Ca | 0.9975 | 95Mo | 0.9998 |
48Ti | 0.9997 | 107Ag | 0.9999 |
51V | 0.9995 | 111Cd | 0.9991 |
53Cr | 0.9995 | 118Sn | 0.9998 |
55Mn | 0.9996 | 136Ba | 0.9997 |
57Fe | 0.9998 | 208Pb | 0.9995 |
製品一覧
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