電子材料精製用イオン交換樹脂

オルガノ社 ORLITE™ シリーズ

あらゆる機器の高性能化に伴い、半導体および電子材料において、更なる高純度化が要求されています。オルガノ社では超純水製造で培ったイオン交換技術を活用した「ORLITE™ (オルライト)」を開発しました。ORLITE™ は金属をpptレベルまで低減させることができる超低メタル化樹脂「DSシリーズ」と、非水溶系の精製を可能とした乾燥樹脂「DRYシリーズ」をラインアップしています。

精製する薬液

  • 電子材料
  • 高純度薬品
  • 使用済み薬品

効果

  • 微量金属低減
  • 酸成分除去
  • 回収再利用

特長

超低メタル化イオン交換樹脂
ORLITE™ DS シリーズ
乾燥イオン交換樹脂
ORLITE™ DRY シリーズ
  • 薬液を高度精製するために、
     - 樹脂からの溶出金属を低減
     - 樹脂からの溶出金属量を保証
  • 超低メタル化
    陽イオン、陰イオン、キレート樹脂をラインアップ
  • 水分の持ち込みが少ない
  • 水分低減の前処理が不要、または短縮できる
  • 陽イオン、陰イオン、混床樹脂をラインアップ

利用シーン

精製対象(例)

  • ORLITE™ シリーズは液状(または精製時に液状にできる)の半導体材料の精製に採⽤されています。
  • 下記のような半導体材料の最終製品だけでなく、その原材料の精製にも使われています。
前工程
  • シリコンウエハ
  • フォトマスク
  • フォトレジスト
  • レジスト現像液
  • アンモニアガス
  • シランガス
  • Low-k材料
  • High-k材料
  • メタルプリカーサ
  • 六フッ化タングステン
  • プロピレン/アセチレンガス
  • PFCエッチングガス
  • HFCエッチングガス
  • 硫化カルボニル
  • 塩素系ガス
  • 臭化水素
  • 三フッ化窒素
  • フッ素混合ガス
  • 高純度洗浄液
  • イソプロピルアルコール
  • CMP後洗浄液/スラリー/パッド
  • ターゲット材
  • バッファーコート膜・再配線形成材料
後工程
  • バックグラインドテープ
  • ダイシングテープ
  • パッケージ基板用
    胴張積層板材料
  • 封止材

太字記載部分はより効果を発揮しやすい対象材料となります。

検討から実機化

材の選定、実験条件の設定

お客様の目的・条件に合わせて、適した材の選定、実験条件の提案を行います。

実験、試験、評価

結果に対するコメントやサポートを行います。

【カラム仕様】
 材質:PFA
 内径×長さ:16 φ×300 m
 樹脂充填量:約50 mL

スケールアップ、パイロット化、実機化

スケールアップに必要な設備の貸し出し、販売も行っております。
また、結果に基づき、実機化、効率的な運転方法などのご提案、ご相談も可能です。

【カラム仕様(例)】
 材質:SUS+ETFE
 内径×長さ:5 L×2
 ポンプ:接液部テフロン
 その他:カラム回転式

スペック・用途の一覧

ORLITE™ DSシリーズ (超低メタル化樹脂)

ORLITE™ DS シリーズは電子材料精製分野における高純度化の要望に適した低メタル化イオン交換樹脂です。

メーカーコード 品名 容量 分類 母体原料・構造 官能基 イオン形 最高操作温度 特徴・用途
100316401_139 ORLITE™ DS-1 250 mL 強酸性陽イオン
交換樹脂
スチレン系
ゲル型
スルホン酸:-SO3・H H 形 120 ℃ 有機酸・有機溶媒(IPA等)中の
金属除去
100316401_178 5 L
100316402_139 ORLITE™ DS-2 250 mL 強塩基性陰イオン
交換樹脂
スチレン系
ゲル型
4 級アンモニウム:-N(CH3)3 OH 形 60 ℃ 有機溶媒(IPA等)中の
アニオン除去
100316402_178 5 L
100316403_139 ORLITE™ DS-3 250 mL 混合イオン
交換樹脂
スチレン系
ゲル型
スルホン酸:-SO3・H
4 級アンモニウム:-N(CH3)3
H 形および OH 形 60 ℃ 有機溶媒(IPA等)精製
100316403_178 5 L
100316404_139 ORLITE™ DS-4 250 mL 強酸性陽イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
スルホン酸:-SO3・H H 形 120 ℃ 高粘性液体(ポリマー含有溶媒等)中の
金属除去
100316404_178 5 L
100316405_139 ORLITE™ DS-5 250 mL 強塩基性陰イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
4 級アンモニウム:-N(CH3)3 OH 形 60 ℃ 高粘性液体(ポリマー含有溶媒等)中の
アニオン除去
100316405_178 5 L
100316406_139 ORLITE™ DS-6 250 mL 弱塩基性陰イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
3 級アミン:-N(CH3)2 遊離塩基形 100 ℃ 薬液中の酸除去
100316406_178 5 L
100316407_139 ORLITE™ DS-7 250 mL 混合イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
スルホン酸:-SO3・H
4 級アンモニウム:-N(CH3)3
H 形および OH 形 60 ℃ 高粘性液体(ポリマー含有溶媒等)精製
100316407_178 5 L
100316420_139 ORLITE™ DS-21 250 mL キレート樹脂 スチレン系
マクロポーラス型
キレート - 80 ℃ レジスト溶媒(PGMEA等)中の
金属除去
100316420_178 5 L
100316421_139 ORLITE™ DS-22 250 mL キレート樹脂 スチレン系
マクロポーラス型
キレート - 80 ℃ レジスト溶媒(PGMEA等)中の
金属除去
100316421_178 5 L

【ORLITE™ DS シリーズの保証項目および保証値】

イオン交換樹脂に含まれる金属量を保証します。

金属元素 保証値 (mg/L-樹脂)
Na ≦ 0.5
Mg ≦ 0.5
Al ≦ 0.5
Ca ≦ 0.5
Fe ≦ 0.5 (*1)
  • *1 DS-22 は除く。DS-22 の Fe 保証値は≦ 3.0 mg/L-樹脂。
  • *2 保証期間は製品納入後1年間(未開封状態に於いて)
  • *3 上記保証項目及び保証値以外の樹脂性能及び同樹脂を用いての製品性能等は保証範囲外

ORLITE™ DRYシリーズ (乾燥樹脂)

ORLITE™ DRY シリーズは非水溶液における高純度処理を目的とした乾燥樹脂です。

メーカーコード 品名 容量 分類 母体原料・構造 水分含有量 総交換容量
(mg 当量/g 乾燥樹脂)
荷姿 特徴・用途
200002538_137 ORLITE™ 15JS-HG・DRY 100 g 強酸性陽イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
≦ 2.0 % ≧ 4.7 10 kg PE/クラフト紙 有機溶媒(低水分)中の金属・酸除去
200002536_137 ORLITE™ B20-HG・DRY 100 g 弱塩基性陰イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
≦ 10.0 % ≧ 4.6 7 kg PE/クラフト紙 有機溶媒(低水分)中の金属除去
200002537_137 ORLITE™ MSPS2-1・DRY 100 g 混合イオン
交換樹脂
スチレン系
マクロポーラス型
≦ 10.0 % 陽イオン交換樹脂:≧4.7
陰イオン交換樹脂:≧4.6
7 kg PE/クラフト紙 有機溶媒(低水分)中の酸除去

製品一覧

  • 項目をすべて開く
  • 項目をすべて閉じる

ORLITE™ DSシリーズ (超低メタル化樹脂)

ORLITE™ DRYシリーズ (乾燥樹脂)

  • 掲載内容は本記事掲載時点の情報です。仕様変更などにより製品内容と実際のイメージが異なる場合があります。
  • 掲載されている製品について
    【試薬】
    試験・研究の目的のみに使用されるものであり、「医薬品」、「食品」、「家庭用品」などとしては使用できません。
    試験研究用以外にご使用された場合、いかなる保証も致しかねます。試験研究用以外の用途や原料にご使用希望の場合、弊社営業部門にお問合せください。
    【医薬品原料】
    製造専用医薬品及び医薬品添加物などを医薬品等の製造原料として製造業者向けに販売しています。製造専用医薬品(製品名に製造専用の表示があるもの)のご購入には、確認書が必要です。
  • 表示している希望納入価格は「本体価格のみ」で消費税等は含まれておりません。
  • 表示している希望納入価格は本記事掲載時点の価格です。